热式质量流量原理是测量加热传感器中流动气体的热量损失。根据通过的气体的质量和速度，信号与标准流速成正比。这一原理在很大范围内都非常可靠，特别适用于检测例如由泄漏引起的微小气流。由于传感器尺寸小，可以在不中断生产的情况下在压力下轻松安装——这是相对于其他原理的另一个优势。